Półprzewodniki: Jak chillery wspierają produkcję — dobór krok po kroku
Produkcja półprzewodników to środowisko, w którym odchylenie temperatury o 0,1°C może oznaczać wadę na waflu krzemowym. Dlatego tak ważny jest właściwy dobór chillera — urządzenia, które stabilizuje proces, obniża koszty i zwiększa bezpieczeństwo całej linii.
Dlaczego chillery są kluczowe w półprzewodnikach?
1) Stabilność ±0,1°C
Minimalizuje defekty i zapewnia powtarzalność procesów, co jest kluczowe dla fotolitografii, trawienia czy depozycji.
2) Niższe zużycie energii
Nowoczesne chillery SMC z technologią inwerterową pozwalają obniżyć koszty energii nawet o 49%.
3) Ekologia i zgodność z regulacjami
Jednostki oparte o CO₂ (A1 – nietoksyczny, niepalny) spełniają najbardziej restrykcyjne normy F-Gas.
4) Łatwa integracja z liniami produkcyjnymi
Modele takie jak HRSC można zainstalować bez przebudowy instalacji, co oszczędza czas i budżet.
Dobór chillera: 3 parametry, które decydują
Zakres temperatur
Czy proces wymaga -20°C, +5°C, czy stabilizacji przy 40°C?
Moc chłodnicza
Od 2 do kilkunastu kW — zależnie od obciążenia procesowego.
Stabilność pracy
Im bardziej precyzyjny etap produkcji, tym ważniejsza dokładność i powtarzalność.
Konkretne modele SMC wykorzystywane w półprzewodnikach
HRZC
• Zakres: –20 do +90°C
• Stabilność: ±0,1°C
• Moc: 2–10 kW
Idealny do najbardziej wymagających procesów, w tym fotolitografii i testowania.
HRSC (CO₂)
• Ekologiczny czynnik
• Energooszczędna praca
• Kompatybilność z istniejącymi liniami
Dobry wybór przy modernizacji linii bez konieczności ingerencji w infrastrukturę.
W produkcji półprzewodników nie ma miejsca na kompromisy. Precyzyjny dobór chillera wpływa bezpośrednio na:
- jakość wafli,
- stabilność procesów,
- koszty energii,
- zgodność z normami środowiskowymi.
